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地址:江苏省扬州市鸿大路29号
电话:0514-87982210,87985370
87902267
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传真:0514-87259695
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环境信息公开报告--晶新微电子

                                                                                                                                                                                发布时间 2017/11/25 11:25:53

环境信息公开报告

 

 

 

扬州晶新微电子有限公司

 

公司建设概况
      扬州晶新微电子有限公司成立于1998年底,位于扬州经济技术开发区鸿大路29号,投资总额5000万美元,注册资金2963万美元,
      公司专业从事半导体分立器件芯片的开发、设计、制造和销售,并接受双极型集成电路芯片的代工业务。公司拥有一支实力雄厚的专业技术团队,已通过ISO9001:2000质量管理体系认证,并获得中国电子元器件质量认证委员会颁发的《制造厂认可证书》。
      扬州晶新微电子有限公司厂区东侧为吕桥河;南侧为可瑞尔科技(扬州)有限公司;西侧隔鸿大路为帝一集团电缆生产基地河北辰电气;北侧为中芯晶来集团。

公司建设情况表

序号 项目 执行情况
1 立项 2002年4月23日由扬州经济开发区管理委员会以扬开管计(2002)058号文立项
2 环评 2002年11月由扬州市环境科学研究所完成环评
3 环评批复 2003年8月由江苏省环保厅以苏环管[2003]159号文予以批复
4 本次验收项目建设规模 年生产36万片5吋芯片,项目总投资1.83亿元,其中环保投资384万元
5 本验收项目破土动工时间 2002年9月开工建设,2003年9月竣工。
6 试生产批准及试生产时间 经江苏省环保厅批准于2004年2月27日投入试运行
7 现场踏勘工程实际建设情况 实际投资1.83亿元,其中环保投资384万元,主体工程及环保治理设施已投入运行,实际生产能力达到设计生产能力的75%.

环评意见及环评批复的意见
环评结论:
       扬州市环境科学研究所在《扬州晶新微电子有限公司Φ5〞芯片生产线项目环境影响报告书》中提出的主要结论如下:
1、 空气环境影响预测评价结论
本项目排放气体污染物对评价区空气环境的影响轻微,在各种气象条件下,气体污染物排放不会对区域空气环境质量产生明显的影响。
2、 水环境影响预测评价结论
本项目废水经过处理达到一级排放标准后通过开发区城市下水管网排入古运河,对水质的影响相对较小。
3、 噪声环境影响预测评价结论
本项目布局较为合理,预测本项目新增的设备对厂界噪声现状影响不大。
4、固废和废液环境影响分析结论
   项目强化了废物产生、收集、贮存各环节的管理,除杜绝固废、废液在厂区内的消失、渗漏外,生产中产生的废液由苏州瑞红电子化学有限公司和江阴市化学试剂厂进行回收处置,并签订了委托合同,按这些废物的处置工艺方案,不会再处置中对环境产生明显的污染现象。

污染物的排放及防治措施
废水排放及防治措施
本项目厂内排水系统采用“清污分流”和“雨污分流”体制:雨水经雨水管网收集后,排入区域雨水管网;
生产废水送厂区污水处理装置进行分质处理,处理达接管标准后与生活污水一并送六圩污水处理厂集中处理。
【废水预处理工艺流程图】
废水分质处理工艺流程如下:

【废水预处理工艺流程说明】
      高浓度含酸废水由各工段收集后送入浓酸PH调节池,收集的浓酸PH在1~3之间,在浓酸PH调节池中加入氢氧化钠对浓酸进行中和反应,将浓度废水的PH值调节至≥4后,提升至综合废水调节池;
      含氨废水、酸性漂洗废水、酸碱性废气洗涤塔排水、特气洗涤塔排水、有机漂洗废水通过各自的收集管网收集后与调节过PH值后的浓酸废水一并进入综合废水调节池。各股废水在综合调节池中均质后通过废水提升泵进入反应搅拌池。
      反应池中,综合废水通过加入氢氧化钠、氯化钙后发生化学反应:
反应方程式如下:
F-+Ca2+=CaF2 ↓
SO42-+Ca2+=CaSO4 ↓
PO43-+ Ca2+=Ca3(PO4) 2↓
      废水中的F-、SO42-与Ca2+反应生成氟化钙、硫酸钙后进入平流沉淀池沉淀,沉淀后的废水进入调节池,回调PH后排放。
研磨废水经研磨废水管网收集后进入研磨废水收集池,经过二级自然沉淀后至总排口排放。
本项目纯水制备废水直接至总排口排放。
【厂区污水预处理装置设计能力及处理效果分析】
本项目综合废水处理装置设计能力为30m3/d,研磨废水处理能力为10m3/d。预计处理效果如下:

 


本项目污水经过污水预处理后,废水中各污染物浓度均能满足六圩污水处理厂的接管标准要求,排入市政污水管网。

污染物的排放及防治措施
废气排放及防治措施
      本项目废气主要有有机废气、酸碱性废气,建设方针对各种气体特性设计了相应的废气治理措施.
【有机废气】
      本项目产生的有机废气主要来自于芯片清洗工序和光刻工序,其中芯片清洗废气中主要污染物为丙酮、乙醇,光刻废气中主要污染物为TVOC,各股有机废气通过有机废气收集系统集中收集后采用活性炭吸附系统处理,最终通过17.7m高排气筒高空排放。
      有机废气的处理技术主要包括非破坏性(冷凝法、吸附法、吸收法)与破坏性(直燃式/触媒式焚化法、生物法)处理技术等。根据本项目有机废气的特点,选用吸附法进行吸收处理。
      吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂,利用物理性吸附(可逆反应)或化学性键结(不可逆反应)作用,将有机气体分子自废气中分离,以达成净化废气的目的。由于一般多采用物理性吸附,故随操作时间之增加,吸附剂将逐渐趋于饱和现象,此时则须进行脱附再生或吸附剂更换工作。
      活性碳吸附系统对此类有机污染物的去除效率大于80%,本项目有机废气经有效处理后,有机废气中丙酮、乙醇、TVOC等污染因子的排放浓度和排放速率均远小于相应的排放标准限值。
【酸碱性废气】
      本项目酸、碱性废气主要为酸洗产生的酸性废气HCl、氟化物、硫酸雾、磷酸雾,氨水清洗芯片产生的含氨废气,本项目酸碱废气通过酸碱废气收集系统集中收集后采用碱液淋洗塔吸收处理。
      本项目共设置两个酸、碱性清洗车间和一个背面减薄后的酸洗车间,每个车间均设置了一套酸性废气收集及处理装置,两个酸、碱性清洗车间功能相同,清洗工作量一致。收集后的酸、碱性废气经碱液淋洗塔吸收处理后通过17.2m高排气筒高空排放。
碱液淋洗塔的处理工艺如下:

      碱液淋洗塔塔吸收系统由废气吸收塔、排风机、喷淋装置、吸收液供给装置和排风管等组成。
      酸性废气采用酸碱中和的原理,利用碱性吸收液(NaOH水溶液)与酸性废气发生反应生成水和盐,进而除去废气中的酸性气体。吸收塔为填料塔,吸收液从后向前,与气体流动方向相反,使得吸收液与废气充分接触。
碱性废气(氨气)利用其极易溶于水的原理,进行吸收。
      吸收塔体及内部构造物均采用耐腐蚀的PP材质制成,塔顶配置高效补液装置使吸收液分布均匀 确保吸收效率;同时引风机引风量大于废气量的5倍以上,使吸收塔形成负压,最大限度的控制废气的漏风,尾气通过17.2m高排气筒高空排放。
      降膜吸收的处理工艺属于成熟的废气治理工艺,被广泛的用于酸碱性废气的治理。根据同类装置类比,稀碱液对HCl、HF等酸性废气的去除效果最高能达到90%以上。本项目保守按80%核算。
      经处理后,本项目废气中各污染物的排放浓度、速率远远小于相应的排放限值。吸收废气后排放的废水汇入废水预处理系统进行处理。污染防治措施可行。
排放及防治措施
噪声及防治措施
      本项目的噪声污染源主要为空压机、风机和各种水泵等生产辅助设备,噪声源声级范围为75~95dB(A)。
本项目噪声源产生的噪声具有下列特征:
    连续和稳态噪声
      本项目生产是连续进行的,生产过程中产生的噪声大多是连续的稳态噪声,因此厂区的夜间和昼间环境噪声相差不大。
    低、中频为主的气流噪声
本项目产生的噪声主要是机泵产生的中、高频气流噪声,空压机产生的低频气流噪声,但由于高频声在传播过程中衰减得比低频声快,所以从整体上讲,本项目的噪声以低、中频气流噪声为主。
针对项目噪声源的特点,建设方采取了以下噪声防治措施:
    生产设备噪声控制
合理布置噪声源,将生产设备布置在厂房内,利用厂房进行隔声。
 空压机、风机噪声控制
此类噪声频谱呈宽带特性,一般由空气动力性噪声和机械噪声组成,以空气动力性噪声为主。空气动力性噪声由旋转噪声和涡流噪声组成,主要从进气口和排气口辐射出来,机械噪声主要从电动机及机壳和管壁辐射出来,通过基础振动还会辐射固体噪声。噪声控制主要采用消声器和隔声及减振技术。
① 安装消声器:在进气和排气管道上安装消声器,,消声器可使噪声源强降低10dB(A)以上。
② 设置隔声房:将空压机和风机封闭在密闭的厂房内,并在基座下加装隔振器,使从空压机和风机机壳、管道、机座以及电动机等处辐射出的噪声被隔离。
③ 管道包扎:为减弱从风管辐射出来的噪声,用矿渣棉等材料对管道进行包扎,隔绝噪声由此传播的途径。
 泵类噪声控制
泵类设备噪声主要来自液力系统和机械部件。液力噪声是由液体中的空穴和液体排出时的压力、流量的周期性脉动而产生的,机械噪声是由转动部件不平衡、轴承不良和部件共振产生的。一般情况下,液力噪声是泵噪声的主要成份。本项目通过设置隔声罩和采用减振基础的方式控制其噪声。


污染物的排放及防治措施
固体废弃物及其处置
本项目的产生的固废分为生产固废和生活垃圾,生产固废包括危险固废和一般工业固废。
危险固废主要为废有机溶剂(S9、S10、S17、S18、S19、S20)、废光刻胶及显影液(S1、S3、S5、S7、S11、S14、S2、S4、S6、S8、S12、S15、S16)、废磷酸(S13)、有机废气处理产生的废活性炭(S21)、水处理污泥(S22)、纯水制备废树脂(S24)
一般固废主要为:废芯片(S23)、废钛组(S25)废镍组(S26)、废银组(S27)、废铝棒(S28)洁净厂房空气过滤器更换的滤芯(S29)。
本项目危险固废外协处置,固废具体处置措施如下表,固废协议详见附件:

      本项目危险固废在转移时必须按照《江苏省危险废物管理暂行办法》执行,按规定填写转移报告单,报送危险废物移出地和接受地的环境保护行政主管部门。
      本项目各类固体废物在外运处置前,需临时堆存于固废暂存场所中,对项目固废暂存场所提出如下主要防治要求:
① 危险废物应与其他固体废物严格隔离;其他一般固体废物应分类存放,禁止危险废物和生活垃圾混入。
② 应按GB15562.2中的规定设置警示标志及环境保护图形标志。
③ 危险废物应当使用符合标准的容器分类盛装,无法装入常用容器的危险废物可用防漏胶袋等盛装;禁止将不相容(相互反应)的危险废物在同一容器内混装;盛装危险废物的容器上必须粘贴符合标准的标签。
④ 装载液体、半固体危险废物的容器内须留足够空间。
⑤ 配备通讯设备、照明设施、安全防护服装及工具,并设有应急防护设施。
按要求对本项目产生的固体废物特别是危险废物进行全过程严格管理和安全处置。另外,还应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GBl8597-2001)以及《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GBl8599-2001)的要求规范建设和维护厂区内的固体废物临时存放场所,必须做好该堆放场防雨、防风、防渗、防漏等措施,并制定好固体废物特别是危险废物转移运输途中的污染防范及事故应急措施。
本项目危险固废水处理污泥需进行安全填埋处置,从扬州市固废管理中心得到的消息,扬州市目前正在建设危险固废填埋场和危险固废焚烧场。其中危险固废填埋场选址位于仪征青山镇,建设方为扬州杰嘉工业固废处置有限公司,目前环评已经获得审批,目前一期工程正在施工中,一期设计填埋处理能力为危险固废20万t,一般固废10万t。计划于2013年下半年投入使用。当扬州危险固废填埋场建成后,本项目废水处理污泥可在扬州市范围内进行安全填埋处置。在危废填埋场建成前,本项目需将产生的废水处理污泥暂时储存在厂区内,厂区内的储存场所必须满足产生量的容纳要求,并按照危险废物的储存要求进行存储,待危废填埋场建成后集中安全填埋,并签订处置协议。


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