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扬州晶新微电子有限公司清洁生产审核报告

                                                                                                                                                                                发布时间 2018/6/1 20:55:17

 

 

清洁生产审核报告

 

 

 

 

 

扬州晶新微电子有限公司

 

2012年10月


目      录
前言----------------------------------------------------------------------------------4
第一章 审核准备-----------------------------------------------------------------6
1.1 组建审核小组---------------------------------------------------------------6
1.2 制定审核工作计划---------------------------------------------------------7
1.3 宣传和培训教育------------------------------------------------------------9
第二章 预审核-------------------------------------------------------------------12
2.1 企业概况--------------------------------------------------------------------12
2.2 现状调查--------------------------------------------------------------------14
2.3  污染物排放标准-----------------------------------------------------------31
2.4 产污排污状况分析--------------------------------------------------------32
2.5 清洁生产水平分析--------------------------------------------------------42
2.6 确定审核重点--------------------------------------------------------------42
2.7 设定清洁生产目标--------------------------------------------------------44
2.8  无/低费方案的产生-------------------------------------------------------45
第三章 评估----------------------------------------------------------------------47
3.1 审核重点概况--------------------------------------------------------------47
3.2  审核重点检测数据--------------------------------------------------------48
3.3 物料平衡---------------------------------------------------------------------50
3.4 废弃物产生原因分析------------------------------------------------------50
3.5 继续提出和实施清洁生产方案------------------------------------------51
第四章 方案产生和筛选--------------------------------------------------------53
4.1 方案的产生------------------------------------------------------------------53
4.2 方案的分类汇总------------------------------------------------------------54
4.3  方案初步筛选---------------------------------------------------------------56
4.4 无/低费方案实施的环境、经济效益-----------------------------------58
第五章 实施方案的确定--------------------------------------------------------59
5.1 进行市场调查----------------------------------------------------------------59
5.2  技术评估、环境评估和经济评估---------------------------------------60
5.3  方案技术评估汇总---------------------------------------------------------65
5.4  方案环境评估汇总---------------------------------------------------------65
5.5  确定实施方案---------------------------------------------------------------66
第六章 方案实施-----------------------------------------------------------------67
6.1 方案实施计划---------------------------------------------------------------67
6.2 汇总已实施方案的成果---------------------------------------------------67
6.3 清洁生产目标完成情况---------------------------------------------------70
第七章 持续清洁生产计划-----------------------------------------------------75
7.1 建立和完善清洁生产组织------------------------------------------------75
7.2 建立和完善清洁生产管理制度------------------------------------------75
7.3 持续清洁生产---------------------------------------------------------------76
第八章 总结与建议--------------------------------------------------------------80
8•1  清洁生产是可持续发展的必由之路-----------------------------------81
8•2  清洁生产审核的体会-----------------------------------------------------81

 

前      言
人类依靠自己的智慧和努力,创造了美好的生活。但在经济快速发展的同时,也消耗掉大量的能源资源。同时也产生了大量的废弃物,污染了地球。但地球只有一个,日益严重的环境污染使地球不堪重负,随着经济的快速发展,地球正承受着前所未有的催残。我们的环境,我们的生存空间受到了严重的威胁。能源资源的日益紧缺和环境问题必将会影响到我们经济的可持续发展。
随着国家实行全面改革开放以来,我国的经济实现了高速发展,同时也带来了严重的环境污染和生态破坏等问题。其根本原因在于我国多数企业由于结构不合理,技术装置落后,造成了能源原材料消耗高、浪费大,资源利用率低等生产现状。为了预防污染和减轻污染,国家制定了多部环保方面的法律与行政法规,要求企业采取各种预防和污染的治理措施,按照排放标准对产生的污染物进行处理后再排放。
末端治理的方式虽然能够取得一时的效果,但却存在着明显的缺陷与不足:一是治理代价高,影响企业的经济效益;二是治理技术难度大,并存在污染转移的风险;三是政府行政监督管理的成本过高。因此,为了从环保与经济发展取得双赢的效果,应当从生产的源头抓起,努力推行实行清洁生产。
清洁生产是指不断采取改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术和设备、改善管理、综合利用等措施,从源头上消减污染,提高资源利用效率,减少和避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放,以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。
按照《中华人民共和国清洁生产促进法》、《清洁生产审核暂行办法》以及原国家环保总局《关于印发重点企业清洁生产审核程序的规定的通知》的规定,因我公司存在着废水和相关污染物排放,于2012年实施清洁生产审核工作。
根据省市有关清洁生产的指示精神和扬州市实施清洁生产审核的具体工作部署,在扬州市环保局的关心和帮助下,我公司于2012年3月份起,开始实施本轮清洁生产审核工作。
对于清洁生产审核工作,公司领导高度重视,专门成立了清洁生产审核领导和工作小组,在公司内全面开展清洁生产审核工作,发动公司全体员工积极投入到节能、减排、增效的各项工作中去。目前已按照国家发改委和环保部第16号令《清洁生产审核实施暂行办法》和清洁生产审核程序的要求,完成了审核准备(筹划与组织)、预审核(预评估)、审核(评估)、方案的产生与筛选、实施方案的确定(可行性分析)、方案实施、持续清洁生产等七个阶段的工作。在本轮清洁生产审核中,我公司取得了较好的环境、经济效益。现按照清洁生产审核的要求编制清洁生产审核报告。我公司将在今后的日常管理中继续加大推行清洁生产的力度,进一步实施清洁生产审核,不断提高公司的清洁生产水平。

 

 

 

 


第一章 审核准备(筹划与组织)
审核准备(筹划与组织)是进行清洁生产审核工作的第一步。它包括取得领导支持;组建审核小组、制定工作计划;开展宣传教育等工作。目的是通过宣传教育使企业的领导和员工对清洁生产有一个初步的比较正确的认识,消除思想上和观念上的障碍;了解企业清洁生产审核的工作内容、要求及其工作程序。
1.1 组建审核小组
在扬州市环保局的关心和帮助下,公司专门派员参加了有关清洁生产审核的各种培训。在了解审核工作的内容、程序和要求后,认识到这项工作的目的是通过节能、降耗来减少污染物的产生,同时增加企业的经济效益。这既是政府发展经济、实现可持续发展的要求,更是企业自身的需求,也是企业提高全面管理水平的一个极好的机会。考虑到该项工作是一项综合性较强的工作——涉及公司的各个部门和车间,需要有全体员工的积极支持和参与,决定在公司成立以徐明为组长,以钱长江为联系人的清洁生产审核领导工作小组,同时聘请了专业审核机构人员上门进行清洁生产审核工作辅导。审核领导和工作小组组成成员见表1-1。

 

 

 


表1-1公司清洁生产审核领导和工作小组成员

号 姓名 小组
职务 部门
职务 工作责职
1 徐明 组长 总经理 全面负责清洁生产审核工作,协调各部门工作
2 童渊 副组长 管理者
代表 全过程参与,协助组长,实施清洁生产审核工作
3 钱长江 副组长 副厂长 全过程参与,协助组长,实施清洁生产审核工作
4 刘剑 组员 技术副
厂长 负责工艺技术和方案筛选,实施清洁生产审核工作
5 王克峰 组员 技术副
厂长 负责工艺技术和方案筛选,实施清洁生产审核工作
6 徐宏进 组员 设备副
厂长 负责工程设备方面的清洁生产审核工作,负责筹划和组织协调工作
7 刘燕 组员 财务
部长 负责财务方面的清洁生产审核工作。
8 王辉 组员 动力
部长 负责清洁生产方面的资料收集、现场调查、物料平衡
9 王千松 组员 采购
主管 全过程参与,负责采购工作
1.2 制定审核工作计划
清洁生产审核是按一定程序分步骤进行的。为便于组织人员相互协调配合,保证审核工作的顺利开展,审核领导小组制定了以下审核工作计划,见表1-2。


表1-2    清洁生产审核工作计划表
阶段 工作内容 工作进度 责任部门
1、筹划
与组织 1、取得领导支持
2、组建审核领导小组和工作小组
3、制定工作计划
4、广泛开展培训、宣传和教育 2012年4月2日—4月5日 审核工
作小组
2、预评估 1、进行现状调研
2、开展现场考察
3、评价产污状况
4、确定审核重点
5、设置清洁生产目标
6、提出和实施无/低费方案 4月6日—
4月15日 各部门
和审核
工作小

3、评估 1、准备审核重点资料
2、实测输入、输出物流
3、建立物料平衡
4、分析废弃物产生的原因
5、提出和实施无/低费方案 4月16日—
4月25日 各部门
和审核
工作小

4、方案产生和筛选 1、产生方案;
2、分类汇总方案
3、筛选方案;
4、研制方案
5、继续实施无/抵费方案
6、核定并汇总无/低费方案实施效果
7、编写清洁生产中期审核报告 4月25日—
4月30日 各部门
和审核
工作小

5、实施方案的确定
(可行性分析) 1、开展市场调查;
2、进行技术评估
3、进行环境评估;
4、进行经济分析
5、推荐可实施方案 5月5日
—5月10日 审核工
作小组
6、方案实施 1、组织方案实施
2、汇总已实施的无/低费方案成果
3、验证已实施的中/高费方案成果
4、分析总结已经实施方案对企业的影响 5月11日—
8月 各部门
和审核
工作小

7、持续清
洁生产 1、建立和完善清洁生产组织
2、建立和完善清洁生产管理制度
3、制定持续清洁计划 9月— 审核工
作小组
8、编制清
洁生产审
核报告 1、编制清洁生产审核报告 9月30日前 审核工
作小组
1.3宣传和培训教育
清洁生产作为环保战略由被动治理向对生产全过程主动控制转变的新概念、新举措,需要提高全体员工的清洁生产意识,争取企业各级部门的广泛支持和参与,这是清洁生产审核工作能取得较好成效的重要条件。
公司派出人员参加了扬州市组织的清洁生产及清洁生产审核的相关会议和培训,并在公司内部组织了对管理、技术人员的培训,又采用多种形式向广大员工进行了分层次培训,较好地提高了全体员工的清洁生产意识和参与的积极性。在实施审核中,对清洁生产概念理解上的偏差和内容上的混淆而出现的各种障碍,审核领导小组和工作小组进行了认真的分析,采取了有效的方法加以克服,保证了审核工作顺利进行。具体问题及解决方法见表1-3。

 

 

 

 

 

表1-3    清洁生产审核障碍和解决的方法
障碍
类型 障碍表现 解决方法
思想观念和认识障碍 1、清洁生产就是搞环境卫生工作 组织员工进行清洁生产的培训教育,进行广泛的宣传,让大家了解清洁生产的目的和意义。
 2、清洁生产就是只有投入没有产出 用其他企业进行清洁生产的 成功经验和已经取得的经济效益来说明
 3、清洁生产是环保部门的事情 清洁生产是个全员过程参与的工作,还是要让所有的干部和员工改变意识
技术
障碍 1.缺乏清洁生产审核的相关技能和知识 请专家来公司进行培训、咨询
 2.清洁生产工艺研制技术难度大 内部攻关和外部咨询相结合,加大投入
 3.技术人员工作忙、没有时间 合理按排、采取措施调动积极性
资金、物资障碍 实施中/高费方案,需较大资金 由公司最高领导负责协调解决
 缺乏现场监测计量器具 由组长进行协调
 设备不能及时到位 由组长进行协调
通过各方面的工作,使以上种种障碍得以克服,各部门员工消除了顾虑,统一了认识,较好地推动了公司的清洁生产审核工作,使审核工作在公司顺利推进。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

第二章  预审核
预审核是从生产全过程出发,对企业现状进行调研和考察,摸清污染现状和产污重点、能源原料和水的消耗情况,并通过定性和定量分析确定审核重点,设置清洁生产目标,在全公司范围内提出和实施清洁生产无/低方案。
2.1 公司概况
扬州晶新微电子有限公司是中日合资专业从事半导体器件芯片生产的企业,公司成立于1998年底。公司位于扬州市经济开发区内鸿大路29号,投资总额 5,000万美元,注册资本2,963万美元,占地面积约51,000平方米,员工500人。公司现有4吋分立器件芯片生产线一条、5吋分立器件芯片和 IC芯片生产线一条。
  公司专业从事半导体分立器件芯片的开发、设计、制造和销售,并接受双极型集成电路芯片的代工业务。公司的主要产品有:小信号晶体管芯片、大功率晶体管芯片、开关晶体管芯片、达林顿晶体管芯片、开关二极管芯片、肖特基二极管芯片、稳压二极管芯片、高频晶体管芯片和双极型集成电路(IC)芯片等。公司拥有一支实力雄厚的专业技术团队,已通过ISO9001:2008质量管理体系认证和ISO14001:2004环境管理体系认证,同时通过QC080000有害物质物质体系认证。并获得中国电子元器件质量认证委员会颁发的《制造厂认可证书》。
企业在发展中注重自身的形象,全体员工尽心地为新老客户服务,我们将一如既往地奉行、热情、深切、真诚、用户至上的服务精神,以更好的产品质量满足用户的需求。

公司2011年总耗电量为14180000kwh,都是为外购电量,总线损为424800kwh,占总用电量的3%,符合国家用电技术导则的要求。

2.5 清洁生产水平分析
公司清洁生产潜力主要有以下几个方面:
(1)完善初期雨水收集设施,对雨水排污口进行改造。
(2)减少产品生产过程中的废水产出量和废气排放量,减少污染物的排放量。
(3)利用峰谷电差价,公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产。
(4)对排水管路进行改造,使浓酸单独排放,减少酸水处理量。
2.6 确定审核重点
确定备选审核重点原则:
 污染物产生较多的环节或部位
 消耗大的环节或部位
 环境及公众压力大的环节或问题
 有明显的清洁生产机会
在确定备选审核重点的基础上,清洁生产审核小组对企业近两年来,尤其是近三年的生产状况以及现有环境管理水平,作了充分的调查并进行了评估。在针对全厂物料和资源能源消耗、环境现状调查中,我们发动管理人员、技术人员及生产一线班组长对生产年、月报表、台账、班组生产纪录等资料进行收集统计整理,力求准确地反映现状,以确定审核重点。
根据我国清洁生产审核的实践,在筛选审核重点时,通常考虑以下几种因素,并对各因素的重要程度(权重值W),选择数值见表2-15各因素的重要程度表)

 


表2-15     各因素重要程度表
废弃物量    W=10; 废物毒性    W=9;
能耗        W=8; 成本费用    W=8;
CP潜力      W=6; 车间积极性  W=2;
发展前景    W=2。 
从废弃物量、废物毒性、能耗、成本费用、CP潜力、车间积极性和发展前景等因素对各生产单元计分,根据分数排序,最后确定审核重点。
表2-16   权重法确定审核重点表
因素 权重
W 备选审核重点得分(1-10)
  清洗工序 减薄工序 CVD工序 氧化工序
  R RW R RW R RW R RW
废弃物量 10 9 90 9 90 8 80 7 70
废物毒性 9 9 81 9 81 9 81 10 90
能    耗 8 8 64 8 64 8 64 8 64
成本费用 8 8 64 8 64 8 64 7 56
CP潜力 6 8 48 7 42 6 36 7 42
车间积极性 2 8 16 7 14 7 14 8 16
发展前景 2 8 16 8 16 8 16 7 14
总分  379  371  355  352
排序  1  2  3  4
从表中的评分结果可以看出,清洗工序得379分,排第一;减薄工序得371分,排第二;CVD工序得355分,排第三;氧化工序得352分,排第四, 通过现状调研、现场考察以及对本公司产污排污/能源资源消耗情况的综合评价后认为,在与环境污染、能源消耗相关的各工序中,清洗工序生产过程中产生的废水量较大,通过加强对产品工艺技术水平的改造,将直接关系到最后的废水的排放量和能否稳定达标排放。经审核小组讨论后,一致确认将公司清洗工序列为本轮清洁生产审核的重点。
2.7 设置清洁生产目标
清洁生产目标设置原则为:
1) 容易被人理解、易于接受、且易于实现;
2) 可以度量、具有灵活性,可以根据需要和实际情况作适当调整;
3) 有激励作用,有明显的效益;
4) 符合组织经营总目标;
5) 能减轻对环境的危害程度;
6) 能明显减少废物处理费用;
7) 能减少物耗、能耗、水耗和降低生产成本;
8) 有具回收价值的副产品,有经济效益;
9) 防止污染措施的资金易于落实,最好能争取到优惠条件和贷款;
10) 产品在今后的国内外市场上具有竞争力;
11) 分阶段,一般分为近期、中期和远期。
依据清洁生产目标制定原则,根据现场考察并结合上级主管部门对公司的要求,清洁生产审核小组经认真讨论后最终确定了清洁生产目标,见表2-17。
表2-17  清洁生产目标一览表
序号 项目 现状 近期目标(2011年) 远期目标(2015年)
   绝对量 相对量 绝对量 相对量
1 用水量(吨/万片) 12955.62 削减647.8 削减5% 削减1300 削减10%
2 废水量(吨/万片) 12725.6  削减636.3 削减5% 削减1273 削减10%
3 氢氟酸使用量
(公斤/万片) 56.2 削减2.81 削减5% 削减4.5 削减8%

2.8无/低费方案的产生
公司利用多种形式对全体员工进行了清洁生产和清洁生产审核的宣传和培训,普遍提高了员工的清洁生产意识和参与的积极性,结合各自岗位及日常工作提出了清洁生产方案,经各审核工作小组整理归纳后,在本阶段提出了以下清洁生产方案见表2-18.
 
表2-18  清洁生产方案
序号 方案简介 预计环境经济效益
1 完善初期雨水收集设施,对雨水排污口进行改造 全年直接减少初期雨水排放量达200吨以上。
2 加强废水、废液的各项指标检测,确保废水达到接管标准 确保废水达标排放,降低废水处理费用。
3 利用峰谷电差价,公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产 全年可以节约用电1.5万kWh,产生经济效益1万元
4 对排水管路进行改造,使浓酸单独排放,减少酸水处理量 全年减少弱酸处理量3万吨,减少处理费用1.5万元。
5 改建危险原料等储存设施 减少和避免对环境的污染。
6 节能灯替代白炽灯,LED灯替代老式日光灯 全年节约用电6万kWh,节约电费4万元。
7 部分更换冷冻水循环水泵、冷却水循环水泵为节能泵 全年节约用电5万kWh,节约电费3.5万元。

对能先行实施的无/低费方案,公司将抓紧予以实施。


第三章  审核(评估)
本阶段工作主要是通过对本轮清洁生产审核确定的审核重点的物料平衡和细化分析评估, 进一步发现存在的问题和改进的潜力,继续产生清洁生产方案。
3.1 审核重点概况
3.1.1  清洗工序工艺流程见图3一1. 
图3一1  清洗工序工艺流程图
审核重点工序流程说明:
(1)湿法腐蚀:BHF是氢氟酸和氟化铵的混合水溶液,液中的F- 与二氧化硅中的SI4+络合成六氟硅酸根络离子[SIF6]-2,它与H+结合生成可溶性的六氟硅酸,同时H+也与二氧化硅中的O-结合生成水。反应式为:   
(2)湿法去胶:将浓硫酸加热到120℃±5℃。将制品浸泡在溶液中,并加入50ML的双氧水,利用浓硫酸强氧化性将胶碳化而溶于水。
    (3)I号液:将H2O:H2O2:NH4OH=5:1:1的体积比配制在I号液,将制品放在温度为75℃±5℃的溶液中10MIN,主要去除表面的有机沾污。
(4)II号液: 将H2O:H2O2:HCL=5:1:1的体积比配制在II号液,将制品放在温度为75℃±5℃的溶液中10MIN,主要去除表面的金属沾污。
3.2审核重点检测数据
3.2.1清洗工序生产物料平衡
2012年4月审核小组对清洗生产工序的生产数据进行了测试,测试数据见表3-1。

 

 

 

 

 

表3-1    2012年4月水洗生产工序生产数据测试表
          时间
项目 3.26~4.10 4.11~4.25 全月合计
加工工件产量(片) 192752 190936 383688
BHF(KG) 225 250 475
硫酸(KG) 1260 1310 2570
双氧水(KG) 956 724 1680
氨水(KG) 620 424 1044
盐酸(KG) 140 140 280
正性光刻胶6112B(KG) 46 42 88
正性光刻胶2700P(KG) 24 21 45
光刻胶CP45(KG) 104 132 236
光刻胶CP60(KG) 128 120 248
表3-2   2012年4月水洗生产工序输入、输出数据汇总表
输入(KG) 输出(KG)
 污泥 废水 水分损耗 废气 成品
纯水 600000 3.5* 605000 150* 60* 564.5
加工工件产量 580     
BHF 475     
硫酸 2570     
双氧水 1680     
氨水 1044     
盐酸 280     
正性光刻胶6112B 88     
正性光刻胶2700P 45     
光刻胶CP45 236     
光刻胶CP60 248     
合计 607246 605778
注:带“*”号的数量无法实测,为估计数。
3.3物料平衡
根据以上物流输入-输出数据,审核小组编制了物料平衡图:

加工工件产量580
纯水600000
BHF475
硫酸2570
双氧水1680
氨水1044
盐酸(HCl)280
正性光刻胶6112B  88
正性光刻胶2700P  45
光刻胶CP  236
光刻胶CP  248


∑入 = 607246                             ∑出 = 605778

图3-2  水洗工序物料平衡图
平衡偏差为:0.24%。
说明:从以上物料平衡检测数据来看,输出物料量为605778kg,而输入物料量为607246kg,输出物料与输入物料的偏差为0.24%,可以进行随后的评估和分析。
3.4废弃物产生原因分析
审核小组根据对产品生产重点工序的输入输出物料的检测情况,对生产过程进行作如下讨论和分析:
1)废弃物的产生部位主要来自于以下几个方面:
废水主要来自于产品的水洗过程,这部分生成的水量占总产出废水量的主要部分,废水的产出主要是由产品的清洗方式决定。
2)废弃物产生的原因分析表,见表3-3
表3-3 废弃物产生的原因分析表
废弃物名称
影响因素 废水
原料及能源 对废水的产生量不大,要加强管理减少废品的产生。
加强对用电量的考核。
设备 清洗设备对废水的产出有较大影响。
过程控制 清洗方式影响废水量的产生。
人员 对废水的产出量和污染物量非常重要。
产品 如果产品质量要求高,将会产生较多的废水。
废弃物 按操作要求操作,减少废品的产生。
工艺技术 产品的生产工艺直接决定了废水的产出量和污染物数量。
管理 管理水平将直接决定废水的产出量和污染物数量。
从重点审核部位的物料平衡数据和废弃物产生的原因和去向分析发现, 如果采取以下措施可以减少废水和污染物的数量:
在产品生产过程中,应提高产品原料的质量指标,严格控制生产过程的各项指标要求,同时加强洗涤水量的控制。将大大减少废水的产出量。
3.5 继续提出和实施清洁生产方案
在本阶段的审核工作中,又得出了以下清洁生产方案,分别如下:
(1)加强原料采购的力度,加强对原料包装材料的回收。
由于源头原辅材料质量的提高,产品质量均得到了保证,减少了废品的产出率。
(2)尽量利用峰谷电差价,安排公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产,降低生产成本。
利用峰谷电差价,调整生产运行负荷,折产生经济效益近1万元。
(3)将过程报废的制品再利用。
(4)员工须先经培训合格才能上岗。
 
第四章  方案产生和筛选

    方案的产生和筛选是清洁生产审核的第四个阶段,本阶段的工作是将已产生的清洁生产方案按原辅材料和能源、工艺技术、设备、管理、过程控制、员工、产品和废弃物等八个方面进行分类汇总。并对方案进行筛选,提出初步可进行的中/高费方案,供下一阶段进行可行性分析,以确定实施方案。同时,对已实施的无/低费方案及中/高费方案阶段所取得的环境、经济效益进行汇总和评估。
4.1方案的产生
根据物料平衡结果、污染物排放情况,清洁生产审计小组汇总车间管理人员、技术人员和操作人员,针对公司生产管理运行、工艺、设备和过程控制等方面存在的问题,集思广益,提出合理化建议,以期充分节约资源,减少污染,提高产品产量和质量。
1)广泛采集创新思路
在全公司范围内利用各种渠道和多种形式,进行宣传动员,鼓励全体员工提出清洁生产方案或合理化建议。通过实例教育,克服思想障碍,制定奖励措施以鼓励创造性思想和方案的产生。
2)根据物料平衡和针对废弃物产生原因分析产生方案
进行物料平衡和废物产生原因分析的目的就是要为清洁生产方案的产生提供依据。因而,方案的产生要紧密结合这些结果,只有这样才能使所有产生的方案具有针对性。
3)组织行业专家进行技术咨询
聘请行业专家针对相关工艺难点进行技术咨询和攻关指导,以期制定出有效的、操作性强的问题解决方案加以实施,达到清洁生产的目的。
4)全面系统地产生方案:
原辅材料和能源控制
技术工艺改造
设备维护和更新
过程优化控制
产品更换或改进
废弃物回收利用和循环利用
加强管理
员工素质的提高以及积极性的激励
4.2方案的分类汇总
在整个征集方案过程中,审计小组共征集方案20多条,经初步筛选,将其中类似的或重复的加以合并,最后采纳16条合理化建议作为本次清洁生产方案,见表4-1。

 

 

 

 

 

 

 

 

 


表4-1    清洁生产方案分类汇总表               
方案
分类 编
号 方案名称及简介 投资
(元) 预计环境效益和经济效益
原辅
材料
能源 F1 加强原料采购的力度,加强对原料包装材料的回收 无费 由于源头原辅材料质量的提高,减少废品的产出率
 F2 实行过程控制,减少废水产出量 28000 减少废水产出量
工艺
技术 F3 完善管路改造,完善雨污分流、清污分流,对污水排污口进行改造 28000 污水和雨水管网各自独立铺设,年减少处理量200吨,杜绝500吨含污染物雨水排放。
 F4 严格管理,定额考核,减少氢氟酸使用量 无费 全年直接减少0.1吨氢氟酸,节约费用0.06元。
过程
控制 F5 加强废水、废液的各项指标检测,确保废水达到接管标准 42000 确保废水达标排放,降低废水处理费用。
 F6 利用峰谷电差价,公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产 无费 产生经济效益1万元

备 F7 对排水管路进行改造,使浓酸单独排放,减少酸水处理量 40000 全年减少弱酸处理量1万吨,减少处理费用1.5万元。
 F8 改建危险原料等储存设施 20000 减少和避免对环境的污染。
 F9 节能灯替代白炽灯,LED灯替代老式日光灯 40000 全年节约用电6万kWh,节约电费4万元。
 F10 部分更换冷冻水循环水泵、冷却水循环水泵为节能泵 20000 全年节约用电5万kWh,节约电费3.5万元。
废弃
物 F11 增加垃圾桶,垃圾分类收集 2000 减少污染。
管理 F12 匀胶房进行温湿度控制改造 45000 年节约蒸汽800吨,节约费用20万元
 F13 改原来生产场地及仓库内地面清洁水冲法为干扫或湿拖法 1000 全年节水200吨,同时减排废水量170吨,折费用2840元。
 F14 将过程报废的制品再利用 40000 全年节约控片4千片,节约费用24万元。
 F15 减少硅片用金量 10000 全年节约用金1.2㎏,节约费用39.6万元
员工 F16 员工须先经培训合格才能上岗 无费 提高节能减排,增加经济效益
4.3 方案初步筛选
审核工作小组采用简单比较法以技术可行性、环境效益、经济效益、实施的难易程序及对产品和生产的影响等五个方面为筛选因素,对以上16个方案进行筛选,筛选情况列于表4-2。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

表4-2 清洁生产方案简易筛选表
编号 方案名称 技术可行性 环境
效果 经济
效果 实施
难易 对现生产影响 初步
结论
F1 加强原料采购的力度,加强对原料包装材料的回收 √ √ × √ √ √
F2 实行过程控制,减少废水产出量 √ √ × √ √ √
F3 完善管路改造,完善雨污分流、清污分流,对污水排污口进行改造 √ √ × × √ √
F4 严格管理,定额考核,减少氢氟酸使用量 √ √ × × √ √
F5 加强废水、废液的各项指标检测,确保废水达到接管标准 √ √ √ √ √ √
F6 利用峰谷电差价,公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产 √ √ √ √ √ √
F7 对排水管路进行改造,使浓酸单独排放,减少酸水处理量 √ √ √ √ √ √
F8 改建危险原料等储存设施 √ √ √ × × √
F9 节能灯替代白炽灯,LED灯替代老式日光灯 √ √ √ √ √ √
F10 部分更换冷冻水循环水泵、冷却水循环水泵为节能泵 √ √ √ √ √ √
F11 增加垃圾桶,垃圾分类收集 √ √ × √ √ √
F12 匀胶房进行温湿度控制改造 √ √ √ √ √ √
F13 改原来生产场地及仓库内地面清洁水冲法为干扫或湿拖法 √ √ √ √ √ √
F14 将过程报废的制品再利用 √ √ √ √ √ √
F15 减少硅片用金量 √ √ √ √ √ √
F16 员工须先经培训合格才能上岗 √ √ √ √ √ √

表4-3 初步可行的中/高费方案
编号 方案名称及简介 预计投资
(万元)
F17 在CVD工序的C18设备上改进Si3N4生成工艺,将黄色Si3N4改为无色Si3N4,减少工艺废气的产生  12
F18 使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量和污水产生量 8
F19 改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生 5
F20 在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生 6
产生的清洁生产方案分为无/低费用方案和中/高费用方案两大类。结合公司的实际状况,本轮审核中,将备选方案标准定为5万元,即低于或等于5万元的为无/低费用方案,高于5万元的为中/高费用方案。
筛选结果汇总于表4-4。
表4-4    清洁生产方案初步筛选结果汇总表
筛 选 结 果 分 类 方     案
可行的无/低费方案 16
初步可行的中/高费方案 4
暂不可行方案 无
4.4 无/低费方案实施的环境、经济效益
已实施的无/低费方案的环境、经济效益汇总于第六章“方案实施”中,这里不再另行列出。


第五章 实施方案的确定(可行性分析)
 
本阶段是实施清洁生产审核工作的第五个阶段。本阶段工作的目的是对经筛选出来的初步可行的中/高费方案进行分析和评估,以选择最佳的可实施的清洁生产方案。本阶段工作的重点是结合市场调查和收集一定资料的基础上,进行方案的技术、环境、经济的可行性分析的比较,再结合公司的各方面具体情况,从中选择和推荐最佳的可行方案,确定并实施。
5.1 进行市场调查
因进行可行性分析的方案不涉及产品的变化,也无副产品产生,所以不进行市场调查。现对该方案进行可行性研制。
5.2技术评估、环境评估和经济评估
5.2.1  在CVD工序的C18设备上改进SiN生成工艺,将黄色SiN改为无色SiN。
1)技术评估
通过改进该设备上所加工产品的工艺条件,将传统的黄色SiN生产改为无色,可以直接减少SiH4、N2的使用量。具体就是通过改进在生成SiN时工艺腔里面的反应气体配比和流量,在400℃左右的温度下使的原来工艺所生成的黄色SiN变成无色。
SiH4+NH3----SiNH+3H2
2SiH4+N2----2SiNH+3H2
在不影响产品质量和可靠性的前提下,达到减少原材料特种气体的使用。
目前这项新工艺已经用于批量生产,得到了推广,不仅符合公司利益,而且还增加了环境效益。
2)环境评估
该方案实施后,全年可以减少SiH4使用量28800L(折算高压瓶装气24瓶),减少高纯N2使用量7700立方米。
3)经济评估
C18设备为公司新调试设备,为减少原材料消耗,实行绿色生产,在工艺路线方面实行了比较大的改进,按照目前工艺,仅减少SiH4和N2方面,每年节约费用31万元。

(1)总投资费用(I)
I=12万元
(2)年折旧费(D)按6年计
D=12/6=2万元
(3)年节约费用(P)
P=31万元
(4)应税利润(T)
T= P - D = 29万元
(5)年净利润=T(1-税率)    税率为25%
=29×0.75=21.75万元
(6)年净现金流量(F)
F=年净利+年折旧费=21.75+2=23.75万元
(7)投资偿还期(N)
N=I/F=0.505年 
(8)净现值(NPV)    
NPV=    -I, 当n=6  i=6时
          
                    
查表得:折现系数               = 4.9173
                   

NPV=23.75×4.9173-12=104.7858万元
(9)内部收益率(IRR)
IRR为项目在计算期内各年净现金流量现值累计为“零”时的折现率。当NPV=0时
      
   =I/F=0.505
查表得IRR>40%,故方案经济可行。
5.2.2  使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量。
1)技术评估
对原有的AL前清洗设备W31进行改造,改用快排冲洗槽,实行程序控制,直接减少了高纯水的使用和污水的排放。同时提高了清洗质量。方案的实施在技术上成熟可靠,实施难度低,安全性较高。
2)环境评估
方案实施后,改变了以前AL前清洗一直采用溢流清洗的工艺,很多时候设备没有加工制品,但是高纯水却一直在使用。而采用了喷淋、蓄水、快排的清洗新工艺。在不清洗制品的状态,高纯水自动关闭。高纯水全年减少使用量17280吨以上,相当于节约自来水26500吨,同时可以减少15600吨含HF的废水排放。
3)经济评估
项目投资费用5.5万元,每年节省高纯水17280吨以上,相当于节约自来水26500吨,节省费用7.95万元,同时可以减少15600吨含HF的废水排放,减少废水处理费用18.72万元。合计经济效益26.67万元。

(1)总投资费用(I)
I=5.5万元
(2)年折旧费(D)按6年计
D=5.5/6=0.9167万元
(3)年节约费用(P)
P=26.67万元
(4)应税利润(T)
T= P - D = 25.7533万元
(5)年净利润=T(1-税率)   税率为25%
=25.7533×0.75=19.315万元
(6)年净现金流量(F)
F=年净利+年折旧费=19.315+0.9167=25.2317万元
(7)投资偿还期(N)
N=I/F=0.218年 
(8)净现值(NPV)
          n    F
NPV=   ∑          -I, 当n=6  i=6时
      j=1  (1+i)j
                   n     1
查表得:折现系数  ∑            = 4.9173
                  j=1  (1+i)j

NPV=25.2317×4.9173-5.5=118.5718万元
(9)内部收益率(IRR)
IRR为项目在计算期内各年净现金流量现值累计为“零”时的折现率。当NPV=0时
n      1
∑             = I/F = 0.218
j=1 (1+IRR)j
查表得IRR>40%,故方案经济可行。
5.2.3改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生。
1)技术评估
通过改变工艺条件降低正胶显影液的使用量,达到减少成本的目的
方案是通过技术部反复试验,并在现有生产装置上进行了量产论证,技术上已成熟可靠,对产品质量没有影响,实施复杂度低,且安全性较高。
1.程序变化
程序
号 显影液型号 原程序时间 优化后时间 原流量 调整后
流量 优化前使用量(ml) 优化后使用量(ml) 理论上液量减少比例
1# MD-C 19秒 14.5秒 0.4L/min 0.25L/min 126 60 52.4%
2.改进效果
显影液型号 优化前用量(桶) 优化后用量(桶) 做片增加
比例 相对应每片耗液量减少比例 每片约省钱(每桶液
18升每升11元)
MD-C 129片/桶 275片/桶 113.00% 52.70% (1/129-1/275)*18*11
=0.8元
2)环境评估
方案实施后,每月可减少1980L  MD-C使用量,同时也减少了废液的排放,环境改善效果明显。
3)经济评估
按照每月加工3万片的现有产能,每月可减少1980L  MD-C使用量,每年可节约资金28万元。

(1)总投资费用(I)
I=5万元
(2)年折旧费(D)按6年计
D=5/6=0.8333万元
(3)年节约费用(P)
P=28万元
(4)应税利润(T)
T= P - D = 27.1667万元
(5)年净利润=T(1-税率)   税率为25%
=27.1667×0.75=20.375万元
(6)年净现金流量(F)
F=年净利+年折旧费=20.375+0.8333=21.2083万元
(7)投资偿还期(N)
N=I/F=0.2358年 
(8)净现值(NPV)
          n    F
NPV=   ∑          -I, 当n=6  i=6时
      j=1  (1+i)j
                   n     1
查表得:折现系数  ∑            = 4.9173
                  j=1  (1+i)j

NPV=21.2083×4.9173-5=88.2876万元
(9)内部收益率(IRR)
IRR为项目在计算期内各年净现金流量现值累计为“零”时的折现率。当NPV=0时
n      1
∑             = I/F = 0.2358
j=1 (1+IRR)j
查表得IRR>40%,故方案经济可行。
5.2.4在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生
1)技术评估
对原有的硫酸和湿法腐蚀设备(6台)进行加装氮气特氟隆管道,改用纯水鼓泡,实行氮气流量可控制,直接减少了高纯水的使用和污水的排放。同时提高了清洗质量。方案的实施在技术上成熟可靠,实施难度低,安全性较高。
2)环境评估
方案实施后,改变了以前清洗一直采用简单溢流清洗的工艺,制品冲水时间长,清洗效果不理想,高纯水使用量大和污水排放多。全年高纯水减少使用量800吨以上,相当于自来水1600吨,同时可以减少720吨含硫酸的废水排放。
3)经济评估
项目投资费用6万元,项目的实施产生的直接经济效益并不大,每年节省高纯水240吨以上。但环境效益和产品质量的提升较为可观,故公司决定实施该方案。
5.3 方案技术评估汇总
从技术方面对产生的中/高费方案进行汇总分析,汇总如表5-1:
表5-1 中/高费方案技术评估汇总表
方案编号 方案名称 技术可行性 评价结论
  先进
性 安全性 可靠性 成熟度 操作性 可行 不可行
F17 在CVD工序C18设备上改进Si3N4生成工艺,将黄色Si3N4改为无色Si3N4 较高 高 高 成熟 容易 可行 
F18 使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量 一般 高 高 成熟 容易 可行 
F19 改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生 较高 高 高 成熟 容易 可行 
F20 在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生 一般 高 高 成熟 容易 可行 
5.4方案环境评估汇总
环境评估汇总于表5-2


表5-2 中/高费方案环境评估汇总表
方案编号 方案名称 技术可行性 评价结论
  排放量 可降解 污染转移 二次污染 循环经济 可行 不可行
F17 在CVD工序C18设备上改进Si3N4生成工艺,将黄色Si3N4改为无色Si3N4 减少 无 无 无 无 可行 
F18 使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量 减少 无 无 无 无 可行 
F19 改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生 减少 无 无 无 无 可行 
F20 在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生 减少 无 无 无 无 可行 
5.5确定实施方案
根据以上技术、环境、经济可行性分析,以上4个中/ 高费方案在技术上都是可行的,且都具有较好的环境效益,在减污、减排方面都有显著的实施效果,但为确保公司废水能达标排放,这些方案必须实施;部分方案实施后的经济效益明显,经审核小组研究决定,对这4个中/ 高费方案全部组织实施。

 

 

 

 

 

 

第六章 方案实施
方案实施是清洁生产的第六个阶段。该阶段的主要目的是通过推荐方案(经分析可行的中/高费方案的最佳方案)的实施,使企业实现技术进步,获得显著的经济效益和环境效益;通过评估已经实施的清洁生产方案成果,激励企业推行清洁生产。本阶段的工作重点是:总结前几个审核阶段的已经实施的清洁生产方案成果,统筹规划推荐方案的实施。
6.1方案实施计划
审核小组针对企业实际情况商讨方案实施的进度,经报总经理批准后实施,各方案责任部门,完成时间见表6-1。
表6-1 方案实施计划进度表
序号           执行计划
方案名称 方案
提出 市场
调研 方案
设计 方案
实施 负责人
F17 在CVD工序的C18设备上改进SiN生成工艺,将黄色SiN改为无色SiN 4.5前 4.10前 4.15前 4.16~8.20 生产部
F18 使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量 4.5前 4.10前 4.15前 4.16~8.20 生产部
F19 改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生 4.5前 4.10前 4.15前 4.16~8.20 生产部
F20 在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生 4.5前 4.25前 4.28前 4.30~8.20 生产部
方案合计需要投资31万元,根据企业自有资金的实际情况,结合企业的投资规划,实施资金由企业自筹解决,从方案提出之后按照计划陆续安排资金予以实施。
6.2汇总已实施方案的成果
本次清洁生产审核共提出无低费清洁生产方案16项,其中符合实施条件列入本次审核实施计划的16项,目前已实施16项,实施率100%。提出中/高费方案4项,已实施4项。
表6-2 已实施的清洁生产无低费方案成果汇总
方案
编号 方案名称 投资
(元) 环境效益 经济效益
(元/年)
F1 加强原料采购的力度,加强对原料包装材料的回收 无费 减少废品的产出率  减少废品损失50000
F2 实行过程控制,减少废水产出量 28000 减少废水500吨 减少损失6000
F3 完善管路改造,完善雨污分流、清污分流,对污水排污口进行改造 28000 年减少废水量200吨,减少500吨含污染物雨水排放  节约费用8000
F4 严格管理,定额考核,减少氢氟酸使用量 无费 全年减少0.1吨氢氟酸 节约费用600
F5 加强废水、废液的各项指标检测,确保废水达到接管标准 42000 确保废水达标排放,降低废水处理费用 ※
F6 利用峰谷电差价,公用工程系统在峰电少生产,谷电多生产 无费  节省电费10000
F7 对排水管路进行改造,使浓酸单独排放,减少酸水处理量 40000 全年减少弱酸废水处理量1万吨  减少处理费用15000
F8 改建危险原料等储存设施 20000 减少对环境的污染 ※
F9 节能灯替代白炽灯,LED灯替代老式日光灯 40000 全年节约用电6万kWh  节约电费40000
F10 部分更换冷冻水循环水泵、冷却水循环水泵为节能泵 20000 全年节约用电5万kWh  节约电费35000
F11 增加垃圾桶,垃圾分类收集 2000 减少污染 ※
F12 匀胶房进行温湿度控制改造 45000 年节约蒸汽800吨 节约费用200000
F13 改原来生产场地及仓库内地面清洁水冲法为干扫或湿拖法 1000 全年节水200吨,同时减排废水量170吨 节约费用2040
F14 将过程报废的制品再利用 40000 全年节约控片4千片  节约费用240000
F15 减少硅片用金量 10000 节约用金1.2㎏ 节约费用396000
F16 员工须先经培训合格才能上岗 无费 提高节能减排 降低生产
费用
合计 316000 年节水200吨,减少废水量11370吨,节约蒸汽800吨,节约用电11万kWh,节约控片4千片,节约用金1.2㎏,减少0.1吨氢氟酸 957640
表6-3 已实施的清洁生产中高费方案成果汇总
方案编号 方案名称 投资
(万元) 环境效益 经济效益
F17 在CVD工序的C18设备上改进Si3N4生成工艺,将黄色Si3N4改为无色Si3N4 12 年节省SiH4使用量28800L,减少高纯N2使用量7700立方米 每年节约费用31万元
F18 使用新型清洗设备和工艺,减少高纯水使用量 8 年节水26500吨,同时减少15600吨含HF的废水排放。 减少水费和水处理费26.6万元7
F19 改进光刻工序显影程序,减少显影液使用量,减少废液产生 5 减少23760L  MD-C使用量 年节约资金28万元
F20 在清洗溢流槽中导入氮气鼓泡,减少纯水用量,减少废水产生 6 自来水1600吨,减少720吨含硫酸的废水排放。 减少水费和水处理费1.344万元
合计 31 年节省SiH4使用量28800L,减少高纯N2使用量7700立方米,减少23760L  MD-C使用量,节水28100吨,减少16320吨含HF的废水排放。 86.944万元

 

 

 

 

 

 

表6—4已实施清洁生产方案经济/环境效益汇总表(依据2011年产量)
已实施无低费方案个数 16
已实施中高费方案个数 4
投入(万元) 资金额 62.6
 资金来源 自筹
经济效益(万元) 187.388
节约
原材
料能
源 年节约控片(片) 4000 年节约水量(吨) 28300
 年节约用金(㎏) 1.2 年节约电量(度) 110000
 节省SiH4(L) 28800 年节约蒸汽量(吨) 800
 MD-C使用量(L) 23760 减少高纯N2量(m3) 7700
 减少氢氟酸(吨) 0.1  
削减
排污
量 年废水减排(吨) 28390  
6.3清洁生产目标完成情况
本次清洁生产审核设定的清洁生产目标完成情况对比见表6-5。
表6-5    清洁生产目标完成情况对比表
序号 项目 现状 目标(2012年) 完成值
   绝对量 相对量 绝对量 相对量
1 用水量(吨/万片) 12955.62 削减647.8 削减5% 削减818.8 6.32%
2 废水量(吨/万片) 12725.6  削减636.3 削减5% 削减821.4 6.45%
3 氢氟酸使用量
(公斤/万片) 56.2 削减2.81 削减5% 削减2.89 5.14%

下图6-1为2012年9月份公司水平衡图。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


图6一1   2012年9月份全公司水平衡图(吨/年)

下图6-2为2012年9月份全公司电平衡图。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

                   

 

 

 

 

 

 


图6—2    2012年9月份全公司电平衡图

分析总结已实施清洁生产方案的成果及对企业的影响:
一、生产工艺与装备要求
1、生产工艺
生产工艺得到进一步改进,提高了管理水平,过程控制能力加强。
2.装备要求
装备处于国内先进水平。
二、资源能源利用指标
资源能源利用有进一步提高。水耗明显下降。电耗也有下降。
三、污染物产生指标(末端治理前)
1、废水产生量:削减821.4吨/万片;
五.环境管理体系
1.环境法律法规标准:符合国家的地方有关环境法律法规,污染物排放达到国家和地方排放标准、总量控制和排污许可证管理要求
2.环境审核:对过程中的环境因素进行控制,有严格的操作规程,建立相关方管理程序,清洁生产按制度和各种环境管理制度,特别是固体废物的转移制度;
3.组织机构:设有专门环境管理机构;制订有完善的环境管理制度;
4.生产过程控制环境管理:
原料用量及质量:规定严格的检验、计量控制措施;
生产设备的使用、维护、检修管理:对主要设备有具提的环境管理制度,并严格执行;
生产工艺用水、电、气管理:对主要环节安装计量仪表进行计量,并制定定量考核制度;
环保设施运行管理:记录运行数据并建立环保档案;
污染源监测系统:按照《污染源自动监控管理办法》的规定,安装污染物排放自动监控设备;
废物处理处置:采用符合国家规定的废物处理处置方法处置废物。一般固体废物按照 GB18599 相关规定执行。对污泥等危险废物,要严格按照GB 18597 相关规定,进行危险废物管理,委托持有危险废物经营许可证的单位进行处理。向扬州环境保护行政主管部门申报危险废物产生种类、产生量、流向、贮存、处置等有关资料。并针对危险废物的产生、收集、贮存、运输、利用、处置,制定意外事故防范措施和应急预案;
厂区综合环境:管道、设备无跑冒滴漏,有可靠的防范措施;厂区给排水实行清污分流,雨污分流;厂区内道路经硬化处理;厂区内设置垃圾箱,做到日产日清;
相关方环境管理:对原材料供应方、相关服务方提出环境管理要求。
已通过ISO14001:2004环境管理体系认证。
 
第七章  持续清洁生产
持续清洁生产是企业清洁生产审核的第七个阶段,目的是在本轮审核取得较好的成效的基础上使审核工作能在企业长期、持续地推行。因此,本阶段又是下一轮清洁生产审核工作的起点,要通过完善清洁生产管理机构,建立和完善清洁生产管理制度和制定持续清洁生产计划来实现这个目的。
7.1 建立和完善清洁生产组织
为了巩固已取得的清洁生产成果,并使该工作能在我公司持续开展下去,公司决定保留清洁生产审核小组,人员暂不作调整。同时,明确了审核小组在今后持续推行清洁生产的职责是:
1)对已实施的清洁生产方案进行监督检查,保证成果的持久性。
2)经常组织对员工进行清洁生产、国家有关能源资源、环境保护相关政策的宣传、教育和培训工作。
3)关注国家有关部门有关新技术、新工艺、新设备的推广和对落后设备、工艺、产品的淘汰信息,以及国家有关清洁生产的各项政策、法规,及时收集应用。
4)负责清洁生产的征集、评估和组织实施工作。
5)负责清洁生产的日常管理,组织持续清洁生产。
7.2 建立和完善清洁生产管理制度
1)把清洁生产审核中有关加强管理方面的措施,纳入相关规程和制度之中,形成文件化制度。
2)把本轮审核中涉及有关岗位操作的要求,补充进相关操作规程,并对涉及的操作人员进行培训,使之很好地执行。
3)制定奖励措施,对积极提出清洁生产方案的员工给予奖励,提高其参与的积极性,激励广大员工积极参与。
7.3持续清洁生产
清洁生产是一项持续推行的工作,清洁生产的水平也只有更好,没有最好,必须持续地推行,才能不断地提高公司的清洁生产水平。为此,制定了以下持续推行清洁生产的计划。
1)在2013年在产品的生产工艺上下功夫,改进产品生产过程中的废水产出问题。
2)在2013年继续开展一次清洁生产方案的征集活动,发动广大员工积极参与。
3)在2013年组织开展有关《清洁生产促进法》和《循环经济促进法》的宣传培训工作。
4)对照《国家重点行业清洁生产技术导向目录》(第一、二、三批)中与公司生产相关的技术进行逐项研究,凡我公司适用的技术,列出计划,优先采用,以更好更快地提高我公司的清洁生产水平。同时加强清洁生产新技术的研究与开发、新设备的引进和改造工作。
5)加强企业干部、职工的清洁生产培训。
6)开展内部审核和管理评审,推动清洁生产活动的持续开展。
考虑到目前公司的产品工艺水平,使用的原料和能源以及使用设备等方面,都存在清洁生产的机会,在产品的升级换代、工艺改进和设备的更新上都可以实施一定的方案来达到清洁生产的目的,具体可以推进以下项目的实施:
(1)进一步优化工艺流程,减少光刻胶、显影液的使用量。
(2)全面推进节水设备的投入与使用,争取2013年初全部淘汰老式清洗方式。
(3)加强生产和日常管理,对大功率用电设备进行节能技术改造的升级,从而进一步降低用电量,实现节能,该方案计划在2013年初就开始实施。
(4)2013年准备讨论浓水回用方案的实施,此方案的实行将极大的减少自来水的用量,达到节水目的。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2013年清洁生产工作及培训计划
名称 主   要   内  容 时      间 负责部门
  起 止 
清洁生产工作计划 1、继续调查、征集清洁生产无低费、高中费方案,调研、筛选可实施的、具有经济、环境效益的方案,并付诸实施 2013.2 2013.12 清洁生产小组成员及相关部门
 2、全年实施无低费方案 2013.2 2013.12 
 3、制订清洁生产工作方针及目标,将清洁生产工作不断推向深入 2013.2 2013.3 
 4、落实清洁生产责任制,确保清洁生产工作的正常有效的开展 2013.2 2013.3 
 5、进一步对设备进行节电措施 2013.3 2013.12 
 6、进一步提高原料的利用率 2013.3 2013.12 
 7、跟踪已实施的中高费方案的效果 2013.3 2013.12 
 8、检查监督本轮清洁生产方案的实施情况 2013.3 2013.12 
 9、做好本轮清洁生产的效益统计及总结工作 2013.2 2013.3 
 10、做好未实施的中高费方案的落实实施工作 2013.4 2013.12 
 11、全部淘汰老式清洗方式 2013.2 2013.4 
 12、优化工艺流程,减少光刻胶、显影液的使用量 2013.4 2013.8 
 13、大功率用电设备进行节能技术改造 2013.4 2013.12 
 14、进一步降低危险化学品的消耗量 2013.4 2013.12 
 15、浓水回用方案的实施 2013.4 2013.12 
清洁生产培训计划 1、利用黑板报等媒介大力宣传清洁生产意义 全年  
 2、利用黑板报等媒介,开展清洁生产技术交流,提高员工的业务水平 全年  
 3、参加省、市环保部门举办的清洁生产培训。 不定期  
 4、有机会参观清洁生产工作搞得比较好的同行,学习同行的先进经验 不定期  
公司根据产品生产技术及各种消耗状况,决定坚持不懈地积极开展清洁生产活动,并确定未来三年(至2015年)的中远期清洁生产目标如下:
项目 清洁生产审核末期
(2015年12月)
单位产品电耗(万KW•h/万片) 41.03×85%=34.88
单位产品水耗(t/m2) 12955.62×90%=11660.06
单位产品废水排放(t/m2) 12725.6×90%=11453.04
氢氟酸使用量(公斤/万片) 56.2×80%=44.96


 
第八章  总结与建议
扬州晶新微电子有限公司的清洁生产是在源头及生产的全过程中控制节能、降耗和污染物的产生,把末端治理作为做好环保工作的辅助手段,它体现了可持续发展的思想。在当今资源、能源日益紧张的情况下意义尤为重要。
公司的清洁生产审核活动符合《清洁生产审核暂行管理办法》的有关规定和扬州市有关清洁生产审核活动的有关要求,审核活动全面、系统。包括了组织筹划、与评估、评估、方案的产生和筛选、可行性分析、方案的实施和持续清洁生产七大步骤。方案征集全面,包括原辅材料和能源、技术工艺、设备、过程控制、产品、废弃物、管理、员工等方面内容。其中可行的无/低费方案16个,本次清洁生产实施16个;中/高费方案4个。清洁生产审核实施情况如下:
表8-1   清洁生产审核实施结果
序号 项目 现状 目标(2012年) 完成值
   绝对量 相对量 绝对量 相对量
1 用水量(吨/万片) 12955.62 削减647.8 削减5% 削减818.8 6.32%
2 废水量(吨/万片) 12725.6  削减636.3 削减5% 削减821.4 6.45%
3 氢氟酸使用量
(公斤/万片) 56.2 削减2.81 削减5% 削减2.89 5.14%
达到了所设置的清洁生产目标。
扬州晶新微电子有限公司紧紧围绕“节能、降耗、减污、增效”主题开展清洁生产活动,在审核过程中提出的清洁生产方案大部分为无/低费方案,投入小,而经济效益和社会效益可观;对于中/高费方案公司集中财力解决重点突出的问题,也取得了可观的环境效益和经济效益。通过开展清洁生产审核工作,公司干部和员工的节约意识、环境保护意识得到了进一步提高,为今后持续开展清洁生产奠定了坚实的基础。
公司将进一步加强科学管理,积极有效地推进清洁生产工作,持续改善,力争通过全员的努力取得环境效益、经济效益、社会效益的共赢,实现公司的可持续发展。
8.1清洁生产是可持续发展的必由之路
清洁生产是摆在工业企业面前的一个新课题,是对人们思想观念的一种转变。是控制工业污染的一种新的战略思想,是指导工业生产的一种新的理论。如何接受新知识,更新新理念,使企业员工适应这个转变,必须对员工进行思想宣传教育,首先必须建立一个权威的领导清洁生产的组织,为此组建了清洁生产审核工作小组,制订了清洁生产工作计划。指定清洁生产审核工作小组组长,固定清洁生产审核小组负责人,初步形成了公司清洁生产三级网络。
清洁生产工作涉及到每一道工序、每一个生产过程,牵涉到每个员工。如何使清洁生产理念转变为员工的自觉行为,就需要开展广泛的宣传教育。
落实是搞好清洁生产审核的关键。通过调查分析确定的清洁生产方案要动起来,要把蓝图变成现实,不能永远束之高阁成为方案。在实施无/低费方案时,往往发现问题立即整改实施。在被列为中/高费方案的项目中,往往是各个阶段步骤是穿插进行,有计划、有步骤,但没有太明显的时间界限。
8.2清洁生产审核的体会
更新理念,加强法制观念,提高环保意识,加强社会责任感,克服各种思想障碍是搞好清洁生产的一项重要工作。
清洁生产是现代企业在新形势下面临的一个新课题,面广量大,涉及的问题难度大且是综合性的。本次审核的体会是一定要深入现场调查研究,对企业的现状一定要有非常清晰的认识。没有调查,就没有发言权,只有通过认真细致的调查取证,理论分析,定量计算,从中发现清洁生产的机会。然后根据企业现有技术、资金、人力、工期等因条件,确定清洁生产的方向和重点进行实施。
我们的做法,一是发动员工进行深入广泛的现场调查研究,鼓励员工提合理化建议;二是审核小组在此基础上分类、筛选,向总经理提交本轮清洁生产的方向和重点;三是根据总经理批准清洁生产方案,制订实施计划。四是确保资金的投入,早日产生效果。
清洁生产因为生产效率的提高,生产过程中节电、节水、减排。既节省了企业成本,同时也减少了污染末端治理的昂贵费用,提高了企业总体经济效益。清洁生产的目的是“节能、降耗、减污、增效”,这是清洁生产受到企业欢迎的最重的因素。要实现清洁生产见成效,加强管理最重要。从无/低费、中/高费方案的产生到实施,实质是加强管理的过程,无/低费、中/高费方案取得效益,实质是加强管理的产物。同样原因,企业在生产过程中遇到大量清洁生产内容,基本上都是无/低费项目,都属于管理内容。加上,企业投入的中/高费项目的运行,如果管理不善,同样不能发挥应有的作用。因此,要使清洁生产见成效,加强管理是最重要。
从清洁生产各项指标来看,最终反映的经济效益上,这是清洁生产的生命力之所在。尽管一些是环境效益,如果根据国家 “谁污染,谁治理”政策,企业花在末端治理上的费用绝对不会少于投入的费用,其结果还是经济效益。过去我们也很重视节能提高经济效益,但是,面没有这么宽、点没有这么深。清洁生产可以说涉及到企业经营活动的所有方方面面,小到“滴、跑、冒、漏”;大到大的设备的节能降耗、系统的优化运行;更大的还有控制污染物的排放总量等等。清洁生产为企业拓宽了企业对“经济效益”的视野。
通过本轮清洁生产审核,扬州晶新微电子有限公司有了一个新的良好开端,我们决心在今后的工作中,不断总结、提高我们的清洁生产工作水平,把企业的清洁生产工作不断推向深入,把清洁生产工作做得更好,争取更大的经济及环境效益。

 


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